我国亚微米超精密车床研制成功！

亚微米超精密车床融机械、电子、光学、检测和计算机控制等领域中的高技术为一体，是我国自行研制的第一台计算机控制亚微米级精度超精密车床。用金刚石刀具在这台车床上，可加工各种有色金属材料。某些半导体材料和非金属材料加工零件表面粗糙度Ra≤0.02μm（镜面），零件尺寸，形状一致性误差≤0.2μm（人头发粗细的1／70），它是军民高技术产业发展不可缺少的高超精密设备，可应用于精密陀螺，摄像机磁鼓，多面棱镜等高精度零件高超精密加工。　　机床零部件基本上是由天然石材构成，与金属材料零部件机床相比，可保证机床精度稳定性更好，环境温度变化对机床精度影响更小，机床抗腐蚀能力更强；机床运动部件全部采用空气轴承支承，从而保证机床运动的高精度，机床基座下有空气减隔振系统，大大削弱周围环境振动对加工过程的影响，保证被加工零件获得高精度。机床采用高精度激光干涉检测系统对进给运动进行监控，保证运动重复定位精度≤0.13μm，零件加工时，用恒温油进行淋浇，可控制加工区局部湿度变化量≤±0.004℃，机床采用微动刀架系统可实现±0.01μm的微量进给。（微动刀架系统是我负责研制的）　　由于采用上述一系列技术措施，最终实现亚微米级零件加工精度，达到世界先进水平。